Recently, strongly correlated electron systems, such as transition metal oxides, have attracted attention due to their noble properties. In strongly correlated electron systems, it was reported that new features appeared at nano-scale, and we assume that peculiar physical properties in nano-scale structures should be utilized for future nano-devices. We have been developing the nano-structure fabrication technique combining top-down and bottom-up methods. In this study, I fabricated zinc-oxide (ZnO) nano-box structures using sidewall growth on the patterned substrate by imprint techniques. In the presentation, I will show our fabrication method of nano-structures, ZnO nano-box structures, and our future prospects.
近年、遷移金属酸化物などの強相関電子系物質はその特異な物性から注目を集めている。これらの系ではナノサイズ化すると全く新しい特性を示すことが報告されており、これらナノ構造体の新奇特性を積極的に利用することが、今後の新奇ナノデバイスでは必要となってくる。我々は、トップダウン方式とボトムアップ方式を組み合わせ、ナノ構造体の作製技術の開発を行っている。本研究では、トップダウン法であるナノインプリントでパターン化した基板上に、酸化亜鉛をサイドウォール成長（ボトムアップ）させ、ナノボックス構造の作製を試みた。発表では、考案したナノ構造体の作製方法、作製した酸化亜鉛ナノボックス構造、今後の展開を述べる。